Kontaktní formulář
EXT75iDX
Charakteristika
- Kompatiblní s TIC turbo a instrument kontrolérem
- Vícestupňové komunikační režimy k dispozici, včetně paralelního režimu, který umožňuje řídit tradiční signalizační rozhraní a sériový režim, který umožňuje rozhraní RS232
- Mnoho uživatelských konfiguračních parametrů přes rozhraní RS232, včetně nastavení kontroly odvzdušňovacího ventilu, normální indikace rychlosti, pohotovostní rychlosti, programovatelného nastavení výkonu, spotřeby energie a teploty vývěvy.
- Rozšířené monitorovací možnosti, včetně rychlosti vývěvy, spotřeby energie a teploty.
| Technická data | |
| Vstupní příruba | DN63ISO-K, DN63CF, DN40NW nebo DN100ISO-K |
| Čerpací rychlost | |
| N2 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) | 61 ls-1 (42 ls-1) (66 ls-1) |
| He ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) | 57 ls-1 (49 ls-1) (59 ls-1) |
| H2 ISO63/63CF (DN40NW)(ISO100) | 53 ls-1 (48 ls-1) (54 ls-1) |
| Kompresní poměr | |
| N2 | >1 × 1011 |
| He | 1 x 106 |
| H2 | 5 x 104 |
| Konečný tlak (mbar) | |
| Se zazpětňovací vývěvou RV ISO/CF | -9/ 5 x 10-10 |
| S membránovou zazpětňovací vývěvou ISO/CF | -8/ 5 x 10-9 |
| Výstupní příruba | DN16NW |
| Doporučený zazpětňovací vývěva* | RV5/nXDS6i |
| Odvzdušňovací port | 1/8 inch BSP |
| Vyplachovací port | 1/8 inch BSP |
| Chlazení vodou (voda 15°C, okolí 40°C) | 2 × 10-2 mbar |
| Nucené chlazení vzduchem, 35 °C okolí | 1 × 10-2 mbar |
| Normální otáčky | 90000 rpm |
| Pohotovostní otáčky | Variabilní 49500 - 90000 rpm (63000 rpm výchozí) |
| Programovatelný limit pro odběr energie ze zdroje | Variabilní 50-120W (výchozí 80W) |
| Čas rozběhu na 90% rychlosti | 110 s ‡ |
| Analogový výstup | Otáčky motoru Vstupní kapacita Teplota motoru Teplota kontroléru |
| Metoda chlazení# | Nucené chlazení vzduchem / vodou |
| Okolní teplota vzduchu při nuceném chlazení vzduchem | 5 - 35 °C |
| Chlazení vodou (voda 15°C) | 15 l h-1 |
| Teplota vody | 10 - 20 °C |
| Maximální vstupní teplota příruby | 100 °C |
| Provozní požadavky | Vertikálně a vzpřímený, až po horizontální ±2° |
| Maximální magnetické pole vývěvy může tolerovat | 5 mT |
| Doporučený kontrolér | TIC100 turbo a instrument kontroler |
| Klidová elektrická energie | 10 W |
* Menší zazpětňovací vývěva může být použita v závislosti na aplikaci. Vhodná membránová vývěva s konečným tlakem.
† Nad tímto vstupním tlakem, rotační rychlost klesne pod nominální.
‡ Limit výkonu nastaven na 80 W.
# Příslušenství vodního a vzduchového chlazení je nutno objednat zvlášť
- EXT75 Turbomolecular Pump Datasheet (pdf, 746KB)