5N

Technická data  
Váha 2,3 kg
Přepravní váha 2,8 kg
Konečný tlak méně než 10-11 mbar
Startovací tlak 1 x 10-3 mbar
Životnost 50 000 hodin @ e-6 mbar
Provozní teplota 200°C
Maximální teplota 450°C bez magnetů
Rozměry (L x W x D) 106 x 85 x 81 mm